Lantiy F-Theta yo souvan itilize ansanm ak miwa eskanè galvanomèt nan sistèm gravur lazè, koupe, ak make. Tipikman, distòsyon F-Theta lantiy la kenbe mwens pase 1% pou li kapab pwodui yon tach presi nan chan plat la sou plan imaj la.
Tolerans Dyamèt: +0/-0.13mm
Tolerans epesè: ±0.25mm
Tolerans longè fokal: ±2%
Varyasyon epesè kwen (ETV): ≤3 ark min.
Ouvèti klè: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Kalite sifas: 40-20 SD
Kouch AR: R<0.2% pa sifas @10.6μ